Meinciau Gwlyb Lled -ddargludyddion: 316L EP vs . 904 l Gwrthiant cemegol

 

Pam mae 316L-EP yn cynnwys 90% o gymwysiadau mainc wlyb?
Mae electropolishing i RA 0.15μm yn cyfyngu shedding gronynnau i<5/ft³ >0 . 1μm. Yn trin cymysgeddau HF/HNO₃ ar 60 gradd gyda<0.01mm/year corrosion. Costs $350/kg vs. 904L's $850/kg.

 

Pan fydd 904L yn orfodol ar gyfer nodau datblygedig?
Dros<5nm nodes processing copper interconnects with HCl/H₂O₂ mixtures. Molybdenum (4.5%) prevents pitting from chloride residuals. Surface iron content <0.001% prevents electroplating defects.

 

Uchafswm y lefelau halogydd a ganiateir?
Metelau trosglwyddo<1E10 atoms/cm². Particles >0.05μm <0.1/mL. Organic residues <5ng/cm². Surface roughness Rz <0.5μm after 500 cleaning cycles.

 

Manylebau weldio critigol?
Orbital gtaw gyda llenwr er316lsi o dan babell argon (o₂<10ppm). Internal purge until weld cools below 100°C. Electropolishing removes 15μm post-weld.

 

Dulliau Dilysu?
Sganiau metel arwyneb vpd-icpms . tof-sims mapio organig . ellipsometreg ar gyfer trwch ocsid . monitro potensial cyrydiad electrocemegol {.